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旋轉接頭 設計制造商

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騰旋半導體行業(yè)專(zhuān)用旋轉接頭

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掃一掃!騰旋半導體行業(yè)專(zhuān)用旋轉接頭掃一掃!
瀏覽:- 發(fā)布日期:2024-05-28 09:46:04【

   騰旋公司的半導體行業(yè)專(zhuān)用旋轉接頭又叫水/氣滑環(huán)接頭,在半導體工業(yè)、化學(xué)機械拋光機CMP、晶圓等制造領(lǐng)域廣泛應用;用于輸送研磨液、水、冷卻液、研磨殘渣液、壓縮空氣等流體。采用特種材質(zhì)的機械密封方案,具有密封性好、壽命長(cháng)、扭矩低、發(fā)熱量低、耐粉塵殘渣等特點(diǎn),確??蛻?hù)主機可靠性高,減少檢修頻次。

半導體行業(yè)M系列旋轉接頭

兩通路旋轉接頭

型號:ML02R008F

參數:

轉速:250rpm

介質(zhì):水 ,0.5MPa

扭矩:<2N·m

溫升:30

流量:暫定



網(wǎng)站用途8通路

8通路旋轉接頭

   型號:ML08R003F

   參數:轉速:200rpm

介質(zhì):真空 ,0.5bar

    氮氣 ,1.4bar

    空氣 ,1.4bar

扭矩:<3N·m

溫升:30

泄漏量:<1KPa/min


       1999年騰旋從無(wú)到有,2009開(kāi)始不斷提升制造能力,擁有了400多臺全球先進(jìn)的加工設備,2019年開(kāi)始大幅度提高試驗測試能力,目前己擁有30多臺測試設備,我們一直在路上。
   
更多半導體行業(yè)專(zhuān)用旋轉接頭定制,歡迎來(lái)電咨詢(xún):15190308538


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